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RIX晶圓真空夾緊用旋轉(zhuǎn)接頭 半導(dǎo)體專用

RIX晶圓真空夾緊用旋轉(zhuǎn)接頭 半導(dǎo)體專用 EMS系列,是專為半導(dǎo)體行業(yè)開(kāi)發(fā)的,用于供應(yīng)純水和化學(xué)溶液。主回路采用非金屬材料,使其成為*大限度減少金屬離子溶入液體的旋轉(zhuǎn)接頭。

  • 產(chǎn)品型號(hào):EMS系列
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2025-04-17
  • 訪  問(wèn)  量:341
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聯(lián)系電話:027-81622688

產(chǎn)品詳情
品牌RIX/瑞顧克斯貨號(hào)EMS系列
規(guī)格可咨詢供貨周期一個(gè)月
主要用途半導(dǎo)體行業(yè)用于晶圓加壓、CMP設(shè)備、供應(yīng)純水和化學(xué)溶液應(yīng)用領(lǐng)域化工,電子/電池,汽車(chē)及零部件,電氣,綜合

RIX晶圓真空夾緊用旋轉(zhuǎn)接頭 半導(dǎo)體專用 EMS系列

RIX晶圓真空夾緊用旋轉(zhuǎn)接頭 半導(dǎo)體專用 EMS系列

規(guī)格:

適用流體:純水、空氣 、真空
最大壓力 :-0.095~0.6MPa
大通路:5
大轉(zhuǎn)速:800min-1
主要途徑與其特點(diǎn):

在旋轉(zhuǎn)托盤(pán)的冷卻水IN/OUT用,晶圓真空夾緊用
空氣/真空流路可能追加

應(yīng)用端設(shè)備對(duì)象:精磨/粗磨、CMP裝置




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